深圳市元锋科技有限公司

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主营产品:矢量网络分析仪、频谱分析仪、微波/射频信号源、示波器

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企业信息
  • 深圳市元锋科技有限公司

  • 公司注册地址:
    深圳市宝安区西乡街道新安四路284号锦泽大厦2楼203
    注册资本:
    500万人民币
    企业类型:
    有限责任公司(自然人独资)
    主营产品:
    矢量网络分析仪 频谱分析仪 微波/射频信号源 示波器
联系方式
  • 联系人:
    杨先生
  • 职 位 :
    总经理
  • 电 话 :
    400-6178668
  • 手 机 :
    13926526199
  • 传 真 :
    400-6178668
  • 地 址 :
    广东 深圳 宝安区 深圳市宝安区宝安大道3016号富星通大厦701.
  • 客 服 :
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Chroma/致茂台湾7940晶圆检测系统

Chroma/致茂台湾7940晶圆检测系统

订货量(台) 价格
1 - 9 99999.0元/
10 - 49 88888.0元/
≥50 77777.0元/
  • 发 货 期:3天内发货
  • 所 在 地:广东 深圳
  • 手     机: 13926526199

详细信息

是否进口:否产地:台湾
加工定制:否品牌:Chroma/致茂
型号:7940订货号:7940
货号:7940规格:7940
适用范围:用于传输和接收应用是否跨境货源:否

Chroma/致茂台湾7940晶圆检测系统特色:

  • 可同时检测正反两面晶圆

  • 可检测6吋扩膜晶圆(检测区域达8吋范围 )

  • 可因应不同产业的晶粒更换或新增检测项目

  • 上片后晶圆自动对位机制

  • 自动寻边功能可适用于不同形状之晶圆

  • 瑕疵规格编辑器可让使Chroma/致茂台湾7940晶圆检测系统用者自行编辑检测规格

  • 瑕疵检出率高达98%

  • 可结合上游测试机晶粒资料,合并后上传至下一道制程设备

  • 提供检测报表编辑器,使用者可自行选择适用资料并进行分析



Chroma 7940晶圆检测系统为自动化切割后晶粒 检测设备,使用先进的打光技术,可以清楚的辨 识晶粒的外观瑕疵。结合不同的光源角度、亮度 及取像模式,使得7940可以适用于LED、雷射二 极体及光敏二极体等产业。

由于使用高速相机以及自行开发之检测演算法, 7940可以在3分钟内检测完6吋LED晶圆,换算 为单颗处理时间为15msec。7940同时也提供了 自动对焦与翘曲补偿功能,以克服晶圆薄膜的 翘曲与载盘的水平问题。7940可配置2种不同倍 率,使用者可依晶粒或瑕疵尺寸选择检测倍率。 系统搭配的***小解析度为0.5um,一般来说,可 以检测1.5um左右的瑕疵尺寸。

系统功能

在扩膜之后,晶粒或晶圆可能会产生不规则的 排列,7940也提供了搜寻及排列功能以转正晶 圆。此外,7940拥有人性化的使用介面可降低 学习曲线,所有的必要资讯,如晶圆分布,瑕疵 区域,检测参数及结果,均可清楚地透过使用者 介面(UI)呈现。

瑕疵资料分析

所有的检测结果均会被记录下来,而不仅只是 良品/不良品的结果。这有助于找出一组参 数,达到漏判与误判的平衡点。提供瑕疵原始原 始资料亦有助于分析瑕疵产生之趋势,并回馈给 制程人员进行改善。

Applications

LED Top Side Defects
- Pad Defect
- Pad Residue
- ITO Peeling
- Finger Broken
Front side image with co-axis light
 
- Mesa Abnormality
- Epi Defect
- Chipping
- Chip Residue
Front side image with ring light
LED Back Side Defects
- Dicing Abnormality
- Pad Bump 
Back side image with co-axis light
 
- Chipping
- Metal Lack 
Back side image with ring light
 
VCSEL Top Side Defercts
- Pad Defect
- Pad Scratch
- Emitting Area Defect
- Peeling 
Front side image with co-axis light
- Mesa Abnormality
- Epi Defect
- Chipping
- Chip Residue
Front side image with ring light
VCSEL Back Side Defects
- Dicing Abnormality
- Pad Bump 
- Chipping
- Metal Lack 
Back side image with ring light
 


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联系人 杨先生
电话 400-6178668
手机 13926526199

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